Описание:
MKS Baratron емкостные манометры — это высококлассные высокоточные абсолютные вакуумные/давления преобразователи, отраслевой стандарт для вакуумного оборудования полупроводниковых процессов. Основанные на запатентованной технологии измерения с емкостной диафрагмой, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко применяются на платформах AMAT, LAM Research и основных системах производства пластин, обеспечивая сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в производстве полупроводников.
Основные характеристики:
- Высочайшая точность до ±0.25% от показания, сверхтонкое разрешение 0.01% Full Scale, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф для соответствия строгим требованиям полупроводниковых процессовMKS.
- Диафрагма и смачиваемые части выполнены из никелевого сплава Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специальным технологическим газам. 100% проверка на утечки перед поставкой для безопасной работы в жестких плазменных условиях.
- Охватывает сверхвысокий вакуум до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Модели с подогревом (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, чтобы избежать отклонений измерений.
Применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Прецизионное вакуумное управление для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Газовый шкаф MFC, вакуумная насосная система, обнаружение утечек и предохранительная блокировка давления
- Солнечная энергетика (PV), покрытие LED, вакуумная обработка в фармацевтике и высокоточные вакуумные лабораторные испытания
FAQ:
Q1:Какое состояние продукта и какая гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Что такое срок доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.