Описание:
MKS Baratron емкостные манометры — это премиальные высокоточные абсолютные датчики вакуума/давления, являющиеся отраслевым стандартом для вакуумного технологического оборудования полупроводникового производства. Основанные на запатентованной технологии емкостного диафрагменного измерения, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко используются совместно с AMAT, LAM Research и основными платформами производства кремниевых пластин, обеспечивают сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в полупроводниковом производстве.
Ключевые характеристики:
- Высочайшая точность до ±0,25% от показаний, сверхвысокое разрешение 0,01% от полной шкалы (Full Scale), отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф, соответствующие строгим требованиям полупроводниковых процессовMKS.
- Диафрагма и смачиваемые части изготовлены из никелевых сплавов Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. Перед поставкой проводится 100% тест на герметичность для безопасной работы в агрессивных плазменных средах.
- Охватывает диапазон от сверхвысокого вакуума до высокого давления: 0,1 мТорр ~ 3000 PSIA. Модели с подогревом (опционально 45℃ / 100℃) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, чтобы избежать погрешностей измерений.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Точное управление вакуумом для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Газовые шкафы MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и блокировки безопасности по давлению
- Солнечная энергетика (PV), покрытие LED, фармацевтическая вакуумная обработка и высокоточные лабораторные вакуумные испытания
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли товара на складе?
О: Стандартные модели есть на складе, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — обратитесь в службу поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса со стороны нашей команды.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.