Описание:
MKS Baratron емкостные манометры — это высококлассные высокоточные абсолютные вакуумные/давленческие преобразователи, отраслевой стандарт для вакуумного технологического оборудования полупроводникового производства. Основанные на запатентованной технологии емкостного диафрагменного датчика, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко применяются на платформах AMAT, LAM Research и основных установках производства пластин, обеспечивают сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в полупроводниковом производстве.
Основные характеристики:
- Высочайшая точность до ±0.25% от показаний, сверхтонкое разрешение 0.01% Full Scale, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф, что соответствует строгим требованиям полупроводниковых процессовMKS.
- Диафрагма и смачиваемые части выполнены из Inconel® / Incoloy® никелевых сплавов или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. 100% проверка на герметичность перед поставкой для безопасной эксплуатации в жестких плазменных условиях.
- Охватывает сверхнизкий вакуум до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Подогреваемые модели (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, чтобы избежать погрешностей измерений.
Применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Точное управление вакуумом для тонкопленочного осаждения, плазменного травления и ионной имплантации
- Шкафы подачи газов MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и системы блокировки по давлению
- Солнечная энергетика PV, LED-покрытия, фармацевтическая вакуумная обработка и лабораторные высокоточные вакуумные испытания
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2:Каковы ваши условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.