Описание:
MKS Baratron capacitance manometers — это высококлассные высокоточные абсолютные вакуумные/давления датчики, отраслевой стандарт для вакуумного технологического оборудования в полупроводниковой промышленности. На основе запатентованной емкостной диафрагменной сенсорной технологии обеспечивает независимое от типа газа измерение давления, полностью не подверженное влиянию состава технологического газа. Широко совместим с AMAT, LAM Research и основными платформами производства пластин, обеспечивает сверхстабильное замкнутое управление давлением для систем травления, CVD, PVD, ALD и подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годных изделий в полупроводниковом производстве.
Ключевые характеристики:
- Высший класс точности до ±0.25% от показаний, сверхтонкое разрешение 0.01% полной шкалы, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф для соответствия строгим требованиям полупроводниковых процессов MKS.
- Диафрагма и смачиваемые части выполнены из никелевого сплава Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к агрессивным специализированным технологическим газам. Перед поставкой 100% проходят испытание на герметичность для безопасной работы в жестких плазменных условиях.
- Диапазон от сверхвысокого вакуума до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Модели с подогревом (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, избегая отклонений измерений.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Прецизионное управление вакуумом для нанесения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Газовые шкафы MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и системы блокировки давления безопасности
- Солнечная энергетика, LED-покрытия, фармацевтическая вакуумная обработка и лабораторные высокоточные вакуумные испытания
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — уточняйте сроки у службы поддержки.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса осуществляется нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.