Описание:
MKS Baratron емкостные манометры — это высококлассные высокоточные абсолютные вакуумные/давление преобразователи, отраслевой стандарт для вакуумного технологического оборудования полупроводникового производства. Основанные на запатентованной технологии емкостного диафрагменного датчика, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко применяются на платформах AMAT, LAM Research и основных системах производства кремниевых пластин, обеспечивая сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в полупроводниковом производстве.
Ключевые характеристики:
- Высший класс точности до ±0.25% от показаний, сверхвысокое разрешение 0.01% Full Scale, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф для соответствия строгим требованиям полупроводниковых процессовMKS.
- Диафрагма и смачиваемые части выполнены из никелевого сплава Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. Перед поставкой проводится 100% тест на герметичность для безопасной работы в жестких плазменных средах.
- Охватывает сверхвысокий вакуум до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Модели с подогревом (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, чтобы избежать погрешностей измерения.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Прецизионное управление вакуумом для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Газовые шкафы MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и блокировки безопасности по давлению
- Солнечная энергетика (PV), покрытие LED, вакуумная обработка в фармацевтике и высокоточные лабораторные испытания вакуума
FAQ:
Q1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Каково время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.