Описание:
MKS Baratron емкостные манометры — это премиальные высокоточные абсолютные вакуумные/давлениe трансдьюсеры, отраслевой стандарт для вакуумного оборудования полупроводниковых процессов. Основанные на запатентованной технологии емкостного диафрагменного измерения, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко используются с AMAT, LAM Research и основными платформами производства пластин, обеспечивают сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в полупроводниковом производстве.
Ключевые характеристики:
- Высококлассная точность до ±0.25% от измеренного значения, сверхвысокое разрешение 0.01% Full Scale, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф для соответствия строгим требованиям полупроводниковых процессовMKS.
- Диафрагма и смачиваемые части выполнены из никелевого сплава Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. 100% проверка на герметичность перед поставкой для безопасной эксплуатации в жестких плазменных средах.
- Охватывает сверхвысокий вакуум до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Подогреваемые модели (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, чтобы избежать погрешностей измерений.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Точное вакуумное управление для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Газовые шкафы MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и предохранительная блокировка давления
- Солнечная фотоэлектрика, покрытие LED, вакуумная обработка в фармацевтике и лабораторные высокоточные вакуумные испытания
FAQ:
Q1:Какое состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные товары. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы ваши условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли товара на складе?
A:Стандартные модели есть на складе, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчива к влаге и ударам.