Описание:
MKS Baratron capacitance manometers — это высококлассные высокоточные абсолютные вакуумные/давленческие преобразователи, являющиеся отраслевым стандартом для оборудования вакуумных процессов в полупроводниковой промышленности. Основанные на запатентованной технологии емкостного мембранного датчика, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко применяются на платформах AMAT, LAM Research и основных системах производства пластин, обеспечивая сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в производстве полупроводников.
Основные характеристики:
- Высший класс точности до ±0.25% от показаний, сверхвысокое разрешение 0.01% Full Scale, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф для соответствия строгим требованиям полупроводниковых процессов MKS.
- Мембрана и смачиваемые части выполнены из никелевого сплава Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. 100% проверка на утечки перед поставкой для безопасной работы в жестких плазменных условиях.
- Охватывает диапазон от сверхвысокого вакуума до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Подогреваемые модели (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, избегая отклонений измерений.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Точное управление вакуумом для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Шкафы газораспределения MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и блокировки безопасности по давлению
- Солнечная энергетика PV, LED-покрытия, фармацевтическая вакуумная обработка и лабораторные высокоточные вакуумные испытания
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки товара? Есть ли достаточный запас на складе?
A:Стандартные модели есть на складе, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.