Описание:
MKS Baratron capacitance manometers — это высококлассные высокоточные абсолютные вакуумные/давленческие преобразователи, отраслевой стандарт для вакуумного оборудования полупроводникового производства. Основанные на запатентованной технологии емкостного мембранного датчика, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко применяются с AMAT, LAM Research и основными платформами производства пластин, обеспечивая сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в полупроводниковом производстве.
Ключевые характеристики:
- Точность высшего уровня до ±0.25% от показаний, сверхвысокое разрешение 0.01% Full Scale, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф для соответствия строгим требованиям полупроводниковых процессовMKS.
- Мембрана и смачиваемые части изготовлены из никелевого сплава Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. Перед поставкой 100% проходят испытание на герметичность для безопасной эксплуатации в жестких плазменных условиях.
- Диапазон от сверхвысокого вакуума до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Подогреваемые модели (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, исключая погрешности измерений.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Прецизионное управление вакуумом для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Газовые шкафы MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и предохранительные блокировки давления
- Солнечная энергетика (PV), покрытия LED, фармацевтическая вакуумная обработка и лабораторные высокоточные вакуумные испытания
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы ваши условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Каковы сроки доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагозащита и ударопрочность.