Описание:
MKS Baratron capacitance manometers — это высококачественные высокоточные абсолютные вакуумные/давленческие преобразователи, отраслевой стандарт для оборудования вакуумных процессов в полупроводниковой промышленности. Основанные на запатентованной технологии емкостного диафрагменного датчика, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко применяются на платформах AMAT, LAM Research и других основных платформах производства полупроводниковых пластин, обеспечивая ультрастабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в производстве полупроводников.
Ключевые характеристики:
- Высочайшая точность до ±0,25% от показаний, ультратонкое разрешение 0,01% полной шкалы, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф для соответствия строгим требованиям процессов полупроводниковой промышленностиMKS.
- Диафрагма и смачиваемые части выполнены из сплава Inconel® / Incoloy® или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. Перед поставкой 100% проходят испытания на герметичность для безопасной работы в жестких плазменных условиях.
- Охватывает диапазон от сверхвысокого вакуума до высокого давления: 0,1 мТорр ~ 3000 PSIA. Модели с подогревом (опционально 45℃ / 100℃) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, исключая отклонения измерений.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Прецизионное управление вакуумом для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Шкафы подачи газа MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и блокировки безопасности давления
- Солнечная энергетика, покрытия LED, фармацевтическая вакуумная обработка и лабораторные высокоточные вакуумные испытания
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Какие условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — обратитесь в службу поддержки для уточнения сроков.
Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса осуществляется нашей командой.
Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.