Описание:
Манометры емкостного типа MKS Baratron — это премиальные высокоточные абсолютные преобразователи вакуума/давления, отраслевой стандарт для вакуумного оборудования полупроводниковых процессов. Основанные на запатентованной технологии измерения с емкостной диафрагмой, они обеспечивают независимое от типа газа измерение давления, полностью не зависящее от состава технологического газа. Широко применяются в оборудовании AMAT, LAM Research и основных платформах производства полупроводниковых пластин, обеспечивая сверхстабильное замкнутое управление давлением для процессов травления, CVD, PVD, ALD и систем подачи газа, гарантируя стабильную точность вакуума в камере и повышая выход годной продукции в производстве полупроводников.
Ключевые характеристики:
- Высочайшая точность до ±0,25% от показаний, сверхвысокое разрешение 0,01% Full Scale, отличная долгосрочная стабильность и минимальный дрейф, соответствующие строгим требованиям полупроводниковых процессовMKS.
- Диафрагма и смачиваемые части изготовлены из Inconel® / Incoloy® никелевого сплава или нержавеющей стали 316L с полностью сварной конструкцией, устойчивой к коррозионным специализированным технологическим газам. 100% испытаны на герметичность перед поставкой для безопасной работы в жестких плазменных средах.
- Охватывает диапазон от сверхвысокого вакуума до высокого давления: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Модели с подогревом (45℃ / 100℃ опционально) эффективно предотвращают конденсацию летучих технологических сред, предотвращая погрешности измерений.
Области применения:
- Оборудование полупроводниковых фабрик: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 системы травления
- Точное управление вакуумом для осаждения тонких пленок, плазменного травления и ионной имплантации
- Газовые шкафы MFC, вакуумные насосные системы, обнаружение утечек и блокировки безопасности по давлению
- Солнечная энергетика (PV), покрытие LED, фармацевтическая вакуумная обработка и лабораторные высокоточные вакуумные испытания
Часто задаваемые вопросы:
В1: Какое состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.