Описание:
Контроллеры роботизированной обработки пластин Brooks PRI являются высокоточными системами управления движением класса чистых помещений, разработанными Brooks Automation (USA) для производства полупроводников. В качестве основного блока управления для роботов обработки пластин Brooks PRI они обеспечивают точную, надежную и свободную от загрязнений транспортировку пластин 150mm, 200mm и 300mm на полупроводниковых фабриках, являясь критически важным компонентом EFEM (Equipment Front-End Module) и автоматизации технологического оборудования.
Основные характеристики:
- Происхождение и применение: Контроллеры производства США, предназначенные для автоматизации чистых помещений в полупроводниковой промышленности, идеально подходят для обработки пластин 150mm, 200mm и 300mm, выступая в качестве основных блоков управления для EFEM и фронтенд производственных систем.
- Высокоточная производительность: Оснащены многокоординатным сервоприводным управлением и точностью позиционирования на уровне микрон, обеспечивая стабильную, высокоскоростную и безповреждающую переноску пластин в атмосферных и вакуумных условиях.
- Отличная совместимость: Соответствуют требованиям ESD и строгим стандартам чистых помещений. Поддерживают SECS/GEM и Ethernet для легкого подключения к заводским хост-системам.
- Надежная работа: Полевые испытания подтверждают круглосуточную работу. Надежный и экономически эффективный выбор для обслуживания, замены и модернизации устаревших линий производства полупроводников.
Типичные области применения:
- Автоматизация загрузки и выгрузки FOUP и предварительного выравнивания пластин
- Перемещение пластин для процессов травления, осаждения и литографии
- Поддержка процессов тестирования, инспекции и метрологии пластин
- Подходит для производственных линий, НИОКР и пилотных проектов чистых помещений
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запаса на складе?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкость и ударопрочность.