Описание:
Контроллеры роботов для обработки пластин Brooks PRI — это высокоточные системы управления движением чистокомнатного класса, разработанные компанией Brooks Automation (USA) для производства полупроводников. Как основной блок управления роботами Brooks PRI для обработки пластин, они обеспечивают точную, надежную и свободную от загрязнений транспортировку 150mm, 200mm и 300mm пластин на полупроводниковых фабриках, являясь критически важным компонентом EFEM (Equipment Front-End Module) и автоматизации технологического оборудования.
Ключевые характеристики:
- Происхождение и применение: Контроллеры, произведённые в США, предназначенные для автоматизации чистых помещений в полупроводниковой промышленности, идеально подходят для обработки пластин 150mm, 200mm и 300mm, выступая в качестве основных блоков управления для EFEM и фронтальных производственных систем.
- Высокая точность работы: Оснащены многокоординатным сервоуправлением и позиционированием с точностью до микронов, обеспечивая стабильную, высокоскоростную и без повреждений передачу пластин в атмосферных и вакуумных средах.
- Отличная совместимость: Соответствуют требованиям ESD и строгим стандартам чистых помещений. Поддерживают SECS/GEM и Ethernet для лёгкого подключения к заводским хост-системам.
- Надёжная работа: Проверены в полевых условиях для круглосуточной эксплуатации. Надёжный и экономически эффективный выбор для обслуживания, замены и модернизации устаревших производственных линий полупроводников.
Типичные области применения:
- Автоматизация загрузки и выгрузки FOUP и предварительного выравнивания пластин
- Передача пластин для процессов травления, осаждения и литографии
- Поддержка процессов тестирования, инспекции и метрологии пластин
- Подходит для производственных линий, НИОКР и пилотных проектов чистых помещений
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.