Описание:
Контроллеры роботов для обработки пластин Brooks PRI представляют собой высокоточные системы управления движением чистого класса, разработанные компанией Brooks Automation (США) для производства полупроводников. Будучи основным блоком управления роботами для обработки пластин Brooks PRI, они обеспечивают точную, надёжную и свободную от загрязнений транспортировку 150mm, 200mm и 300mm пластин на полупроводниковых фабриках, являясь критически важным компонентом EFEM (Equipment Front-End Module) и автоматизации технологического оборудования.
Ключевые характеристики:
- Происхождение и применение: контроллеры, произведённые в США, предназначенные для автоматизации чистых помещений в полупроводниковой промышленности, идеально подходят для обработки пластин 150mm, 200mm и 300mm, выступая в качестве основных блоков управления для EFEM и фронтенд-производственных систем.
- Высокоточная производительность: оснащены многокоординатным сервоприводным управлением и точностью позиционирования на уровне микрон, обеспечивая стабильную, высокоскоростную и безповреждающую транспортировку пластин в атмосферных и вакуумных средах.
- Отличная совместимость: соответствуют требованиям ESD и строгим стандартам чистых помещений. Поддерживают SECS/GEM и Ethernet для лёгкого подключения к заводским хост-системам.
- Надёжная работа: проверены в условиях круглосуточной эксплуатации. Надёжный и экономически эффективный выбор для обслуживания, замены и модернизации устаревших линий производства полупроводников.
Типичные области применения:
- Автоматизация загрузки и выгрузки FOUP и предварительного выравнивания пластин
- Перемещение пластин для процессов травления, осаждения и литографии
- Поддержка тестирования пластин, инспекции и метрологических процессов
- Подходит для производственных линий, НИОКР и пилотных чистых комнатных проектов
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Фирменная оригинальная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные картонные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.