Описание:
Плата контроля температуры Lam Research является ключевым компонентом теплового управления для систем травления, осаждения и обработки кремниевых пластин в полупроводниковом производстве. Она обеспечивает высокоточное многоканальное регулирование температуры для поддержания строгой термической однородности в технологических камерах, электростатических патронах (ESC) и столах обработки пластин. Спроектирована для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменной среды, обеспечивает стабильную температуру пластины, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход годных изделий. Оригинальные OEM-платы Lam гарантируют совместимость plug-and-play, точную калибровку и долгосрочную надежность для полупроводниковых фабрик передовых технологических узлов (2 нм/3 нм).
Ключевые характеристики:
- Оригинальная печатная плата Lam Research, полностью совместимая с травильными установками Kiyo, платформами ExAL и системами CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддерживает 16–24 канала (входы Pt100 RTD/термопары); обеспечивает стабильность ±0,1°C в диапазоне 25–150°C благодаря алгоритмам PID с автонастройкой.
- Замкнутое управление нагревом/охлаждением (совместимо с TEC); обратная связь с датчиков в реальном времени с частотой дискретизации 500 Гц; компенсация дрейфа окружающей среды и задержек датчиков.
- Рассчитана на работу в вакууме (≤1×10⁻⁶ Торр), с экранированием от ЭМИ и устойчивостью к вибрациям; надежно работает при 0–55°C, устойчива к плазменным и ВЧ-помехам.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой замены; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и журналирования ошибок; снижает незапланированные простои.
Типичные области применения:
- Плазменные системы травления Lam Research (Kiyo, ExAL, серия 9000)
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD/PVD/ALD
- Технологические камеры и ESC для пластин 200 мм / 300 мм
- Передовые фабрики логики/памяти (узлы 2 нм/3 нм)
- Обслуживание полупроводниковых фабрик, запчасти и модернизация
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
О: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
В2: Каковы ваши условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки товара? Достаточно ли запасов?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — обратитесь в службу поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчива к влаге и ударам.