Описание:
Это оригинальная OEM-плата блока питания для электростатического патрона (ESC) LAM Research — критически важного компонента для полупроводниковых травильных и осадительных систем. Она обеспечивает стабильное высокое постоянное напряжение для надежного удержания пластин за счет электростатической силы внутри вакуумных камер. Изготовлена из высококачественных электронных компонентов и с применением схемы защиты от помех, обеспечивает выдающуюся производительность в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильных RF-помех, гарантируя стабильное позиционирование пластин и стабильный выход годной продукции при непрерывной круглосуточной работе 24/7. Это надежная запасная часть для обслуживания оборудования полупроводниковых фабрик.
Ключевые характеристики:
- Полностью совместимо с оборудованием для травления, CVD и PVD от LAM Research. Строго протестировано и откалибровано на заводе для идеального соответствия.
- Обеспечивает сверхнизкие пульсации и стабильный выход тока. Контур замкнутого управления компенсирует RF-помехи, поддерживая постоянную силу прижима.
- Оснащено защитой от перенапряжения, перегрузки по току, перегрева и обнаружения дугового разряда. Отключает питание мгновенно для защиты пластин и оборудования.
- Оптимизировано для жестких условий чистых комнат и вакуумных сред, устойчиво к вибрациям, нагреву и электромагнитным помехам для длительного срока службы.
- Стандартная конструкция и специализированный интерфейс позволяют прямую замену, значительно сокращая время простоя оборудования и затраты на обслуживание.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления LAM Research
- Оборудование для тонкоплёночного осаждения CVD, PVD и ALD
- Вакуумные технологические камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь с сервисной службой для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса осуществляется нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.