Описание:
Это оригинальная OEM-плата источника питания для LAM Research Electrostatic Chuck (ESC), критически важного компонента для травильных установок и систем осаждения в полупроводниковом производстве. Она обеспечивает стабильное высокое постоянное напряжение (DC) для надежной фиксации пластин (wafer) посредством электростатической силы внутри вакуумных камер. Изготовлена с использованием высококачественных электронных компонентов и схемы с подавлением помех, обеспечивает выдающуюся производительность в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильных радиочастотных помех (RF), гарантируя стабильное позиционирование пластин и стабильный выход продукции при круглосуточной непрерывной работе 24/7. Это надежная запасная часть для обслуживания оборудования полупроводниковых фабрик.
Основные характеристики:
- Полностью совместим с оборудованием LAM Research для травления, CVD и PVD. Строго протестирован и откалиброван на заводе для идеального соответствия.
- Отличается сверхнизкими пульсациями и стабильным выходом тока. Замкнутая система управления компенсирует RF-помехи, поддерживая постоянное усилие зажима.
- Оснащён защитой от перенапряжения, перегрузки по току, перегрева и обнаружения дуги. Немедленно отключает питание для защиты пластин и оборудования.
- Оптимизирован для жестких условий чистых помещений и вакуумных сред, устойчив к вибрациям, нагреву и электромагнитным помехам, обеспечивая длительный срок службы.
- Стандартная конструкция и специализированный интерфейс позволяют прямую замену, значительно сокращая время простоя оборудования и затраты на обслуживание.
Типичные применения:
- Системы плазменного травления LAM Research
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Вакуумные камеры обработки пластин 200 мм / 300 мм
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3:Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас на складе?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.