Описание:
Оригинальный произведённый в США MKS прямоугольный вакуумный дроссельный поворотный клапан (butterfly valve), разработанный для точного регулирования потока выхлопа и давления в камере в высоковакуумных процессах. Уникальная 90° прямоугольная компоновка экономит пространство шкафа установки, встроенный высокоскоростной шаговый двигатель и высокоразрешающий энкодер положения обеспечивают сверхстабильное линейное управление давлением. Корпус клапана из нержавеющей стали с уплотнением с низким газовыделением, совместим с несколькими стандартами фланцев, доступны аналоговые/цифровые варианты связи. Новые оригинальные и полностью восстановленные протестированные единицы в наличии, глобальная доставка DAP и полная техническая документация.
Ключевые характеристики:
- Вертикальная 90-градусная конструкция потока воздуха значительно уменьшает занятость горизонтальных трубопроводов, легко устанавливается внутри компактных кластерных полупроводниковых установок и вакуумных шкафов.
- Запатентованный нелинейный приводной механизм оптимизирует движение заслонки, обеспечивает линейную регулировку потока, минимальный перерегулирование давления, стабильные и повторяемые технологические рецепты.
- Высокомоментный шаговый двигатель, полное открытие/закрытие в течение 200 мс; утолщённая заслонка предотвращает накопление пыли, длительный срок службы в среде коррозионных газов травления и осаждения.
- Полностью корпус клапана из нержавеющей стали, уплотнение из фторкаучука с низким газовыделением, соответствует стандартам чистых помещений высокого вакуума; поддерживает нагреваемую версию до 200℃ для предотвращения конденсации технологического газа.
- Несколько вариантов фланцев: ISO-KF, ISO-F, CF; поддержка аналогового 0–10V, RS232, EtherCAT, DeviceNet связи. Полные модели в наличии, предоставляются схемы подключения, руководства по эксплуатации и удалённая техническая поддержка.
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
В2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионных узлов). Влагостойкая и ударопрочная.