Описание:
Оригинальный вакуумный дроссельный поворотный клапан MKS американского производства с прямым углом, разработанный для точного регулирования выхлопного потока и давления в камере в высоковакуумных процессах. Уникальная компоновка под 90° экономит место в шкафу установки, встроенный высокоскоростной шаговый двигатель и высокоразрешающий датчик положения обеспечивают сверхстабильное линейное управление давлением. Корпус клапана из нержавеющей стали с уплотнениями с низким газовыделением, совместим с несколькими стандартами фланцев, доступны аналоговые/цифровые интерфейсы связи. В наличии новые оригинальные и полностью восстановленные протестированные устройства, глобальная доставка DAP и полная техническая документационная поддержка.
Ключевые характеристики:
- Вертикальная конструкция потока под углом 90°, значительно уменьшает занимаемое горизонтальное пространство трубопровода, легко устанавливается внутри компактных кластерных установок полупроводникового производства и вакуумных шкафов.
- Запатентованный нелинейный приводной механизм оптимизирует движение заслонки, обеспечивает линейную регулировку потока, минимальное перерегулирование давления и стабильные воспроизводимые технологические рецепты.
- Высокомоментный шаговый двигатель, полное открытие/закрытие за 200 мс; утолщенная заслонка предотвращает накопление пыли, длительный срок службы в условиях коррозионных газов травления и осаждения.
- Полностью корпус клапана из нержавеющей стали, уплотнение из фторкаучука с низким газовыделением соответствует стандартам чистых помещений высокого вакуума; поддержка нагреваемой версии до 200℃ для предотвращения конденсации технологических газов.
- Множество вариантов фланцев: ISO-KF, ISO-F, CF; поддержка аналогового 0–10В, RS232, EtherCAT, DeviceNet. Полные модели в наличии, предоставляем схемы подключения, руководства по эксплуатации и удалённую техническую поддержку.
Q1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: T/T, PayPal поддерживаются.
Q3: What is the product situation and warranty like?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный мониторинг процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.