Описание:
Оригинальный вакуумный дроссельный поворотный клапан MKS американского производства с прямоугольным (90°) расположением, разработанный для точного регулирования откачного потока и давления в камере в высоковакуумных процессах. Уникальная 90° компоновка экономит место в шкафу установки, встроенный высокоскоростной шаговый двигатель и высокоразрешающий датчик положения обеспечивают сверхстабильное линейное управление давлением. Корпус клапана из нержавеющей стали с уплотнением с низким газовыделением, совместим с различными стандартами фланцев, доступны аналоговые/цифровые варианты связи. Новые оригинальные и полностью восстановленные протестированные единицы в наличии, глобальная доставка DAP и полная техническая документация поддерживаются.
Ключевые характеристики:
- Вертикальная конструкция потока под углом 90 градусов значительно уменьшает горизонтальное занимаемое пространство трубопровода, легко устанавливается внутри компактных кластерных инструментов для полупроводников и вакуумных шкафов.
- Запатентованный нелинейный приводной механизм оптимизирует движение заслонки, обеспечивает линейную регулировку потока, минимальное перерегулирование давления, стабильные воспроизводимые технологические рецепты.
- Высокомоментный шаговый двигатель, полное открытие/закрытие в течение 200ms; утолщенная заслонка предотвращает накопление пыли, длительный срок службы в агрессивной газовой среде травления и осаждения.
- Полностью корпус клапана из нержавеющей стали, уплотнение из фторкаучука с низким газовыделением, соответствует стандартам чистых помещений высокого вакуума; поддерживается версия с подогревом до 200℃ для предотвращения конденсации технологических газов.
- Несколько вариантов фланцев: ISO-KF, ISO-F, CF; поддержка аналоговой связи 0-10V, RS232, EtherCAT, DeviceNet. Полные модели в наличии, предоставляются схемы подключения, руководства по эксплуатации и удалённая техническая поддержка.
Часто задаваемые вопросы:
В1: Какое состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — обратитесь в службу поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионных механизмов). Защита от влаги и ударов.