Описание:
Оригинальный изготовленный в США MKS вакуумный дроссельный поворотный клапан с прямым углом, разработанный для точного регулирования потока откачки и давления в камере в высоковакуумных процессах. Уникальная 90° прямоугольная компоновка экономит место при установке в шкафу, встроенный высокоскоростной шаговый двигатель и высокоразрешающий позиционный энкодер обеспечивают сверхстабильное линейное управление давлением. Корпус клапана из нержавеющей стали с уплотнениями с низким газовыделением, совместим с различными стандартами фланцев, доступны аналоговые/цифровые варианты связи. В наличии новые оригинальные и полностью восстановленные протестированные единицы, глобальная доставка DAP и полная техническая документация.
Ключевые характеристики:
- Вертикальная 90-градусная конструкция потока воздуха значительно уменьшает занятость горизонтальных трубопроводов, легко устанавливается внутри компактных кластерных полупроводниковых установок и вакуумных шкафов.
- Запатентованный нелинейный приводной механизм оптимизирует движение заслонки, обеспечивает линейную регулировку потока, минимальное перерегулирование давления, стабильные воспроизводимые технологические рецепты.
- Высокомоментный шаговый двигатель, полное открытие/закрытие в пределах 200 мс; утолщенная заслонка предотвращает накопление пыли, длительный срок службы в условиях травления и осаждения в коррозионной газовой среде.
- Полностью нержавеющий корпус клапана, уплотнение из фторкаучука с низким газовыделением, соответствует стандартам чистых помещений высокого вакуума; поддерживается нагреваемая версия до 200℃ для предотвращения конденсации технологического газа.
- Несколько вариантов фланцев: ISO-KF, ISO-F, CF; поддержка аналогового сигнала 0–10V, RS232, EtherCAT, DeviceNet. Полные модели в наличии, предоставляются схемы подключения, руководства по эксплуатации и удалённая техническая поддержка.
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и какая гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, PayPal.
Q3:Какое время доставки товара? Достаточно ли запасов на складе?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.