Описание:
Классический 4-осевой двухрычажный высоковакуумный робот для пластин Yaskawa, произведённый в Японии, предназначенный для передачи 8/12-дюймовых пластин внутри вакуумных камер травления, осаждения и ионной имплантации. Использует магнитожидкостное вакуумное уплотнение, сверхнизкое образование частиц, повторяемую позиционирование на уровне микрон, в сочетании с лёгкими карбоновыми захватами. В наличии восстановленные и протестированные устройства, полный отчёт испытаний, глобальная доставка DAP и профессиональная послепродажная техническая поддержка.
Ключевые характеристики:
- Две независимые телескопические руки, поочерёдный захват и размещение пластин, эффективно сокращают время цикла обработки пластин и повышают производственные мощности фабрики.
- Специальная конструкция вала с магнитожидкостным уплотнением, низкое газовыделение, стабильная долгосрочная работа в условиях высокого вакуума, соответствует строгим стандартам вакуумных процессов в полупроводниковой промышленности.
- Вилы для пластин из углеродного волокна + плавное S-образное сервоуправление движением, повторяемая точность позиционирования ±0.05 мм, значительно снижают риск царапин пластин и загрязнения пылью.
- Вся машина изготовлена из материалов с антигазовыделением, внутренняя защита от пыли оптимизирована, полностью соответствует стандартам чистых помещений в полупроводниковой промышленности для процессов тонких плёнок, травления и имплантации.
- Роботы XU-RC350D-K01 после восстановления и тестирования в наличии, гарантия 3 месяца, предоставляются руководства по эксплуатации, схемы подключения и услуга удалённого устранения неисправностей. Несколько вариантов международной доставки, импортные пошлины и местный налог ICMS оплачиваются покупателями.
В1: Какое состояние продукта и какая гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.