Описание:
Классический 4-осевой двухрукий робот для работы с пластинами (wafer) Yaskawa японского производства, предназначенный для передачи 8/12-дюймовых пластин внутри вакуумных камер травления, осаждения и ионной имплантации. Использует магнитожидкостное вакуумное уплотнение, сверхнизкое образование частиц, повторяемую позиционную точность на уровне микронов, в сочетании с легкими карбоновыми концевыми эффекторами. Восстановленные и протестированные единицы в наличии, полный отчет испытаний, глобальная доставка DAP и профессиональная техническая поддержка после продажи доступны.
Ключевые характеристики:
- Две независимые телескопические руки, альтернативный захват и размещение пластин, эффективно сокращают цикл обработки пластин и повышают производственную мощность фабрики.
- Специальная конструкция магнитожидкостного уплотнения вала, низкое выделение газов (outgassing), стабильная долгосрочная работа в условиях высокого вакуума, соответствует строгим стандартам вакуумных процессов в полупроводниковой промышленности.
- Вилы для пластин из углеродного волокна + плавное S-образное сервоприводное управление движением, повторяемая точность позиционирования ±0.05 мм, значительно снижает риск царапин пластин и загрязнения пылью.
- Вся машина выполнена из материалов с низким выделением газов, внутренняя оптимизация защиты от пыли, полностью соответствует стандартам чистых комнат полупроводниковой промышленности для процессов тонких пленок, травления и имплантации.
- В наличии восстановленные и протестированные роботы XU-RC350D-K01, гарантия 3 месяца, предоставляются руководства по эксплуатации, схемы подключения и услуги удаленной диагностики. Различные варианты глобальной доставки, импортные пошлины и местный налог ICMS оплачиваются покупателями.
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные товары. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса осуществляется нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.