Описание:
Контроллеры роботов-манипуляторов для обработки пластин Brooks PRI — это высокоточные системы управления движением уровня чистых помещений, разработанные Brooks Automation (USA) для производства полупроводников. Являясь основным блоком управления для роботов-манипуляторов Brooks PRI, они обеспечивают точную, надежную и свободную от загрязнений транспортировку 150mm, 200mm и 300mm пластин на полупроводниковых фабриках, выступая критически важным компонентом EFEM (Equipment Front-End Module) и автоматизации технологического оборудования.
Ключевые характеристики:
- Происхождение и применение: Контроллеры, произведенные в USA, предназначенные для автоматизации в чистых помещениях полупроводниковой промышленности, идеально подходят для обработки пластин 150mm, 200mm и 300mm, выступая в качестве основных блоков управления для EFEM и фронтенд-производственных систем.
- Высокая точность: Оснащены многокоординатным сервоконтролем и точностью позиционирования на микронном уровне, обеспечивая стабильную, высокоскоростную и без повреждений передачу пластин в атмосферных и вакуумных средах.
- Отличная совместимость: Соответствуют требованиям ESD и строгим критериям чистых помещений. Поддерживают SECS/GEM и Ethernet для легкого подключения к заводским хост-системам.
- Надежная работа: Полевые испытания подтверждают круглосуточную эксплуатацию. Надежный и экономически эффективный выбор для обслуживания, замены и модернизации устаревших производственных линий полупроводников.
Типичные применения:
- Автоматизация загрузки и выгрузки FOUP и предварительного выравнивания пластин
- Перемещение пластин для процессов травления, осаждения и литографии
- Поддержка процессов тестирования, инспекции и метрологии пластин
- Подходит для производственных линий, НИОКР и пилотных проектов чистых помещений
Часто задаваемые вопросы:
Q1: Какое состояние товара и гарантия?
A:Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы ваши условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Каковы сроки доставки продукта? Достаточно ли запасов на складе?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.