Описание:
Контроллеры роботов для обработки пластин Brooks PRI — это высокоточные системы управления движением класса cleanroom, разработанные компанией Brooks Automation (США) для производства полупроводников. Как основной блок управления роботами Brooks PRI для обработки пластин, они обеспечивают точную, надежную и свободную от загрязнений транспортировку пластин 150 мм, 200 мм и 300 мм на полупроводниковых фабриках, являясь критически важным компонентом EFEM (Equipment Front-End Module) и автоматизации технологического оборудования.
Основные характеристики:
- Происхождение и применение: Контроллеры, произведённые в США, предназначенные для автоматизации полупроводниковых чистых помещений, идеально подходят для обработки пластин 150 мм, 200 мм и 300 мм, выступая в роли основных блоков управления для EFEM и фронтенд-производственных систем.
- Высокая точность работы: оснащены многокоординатным сервоприводным управлением и точностью позиционирования на уровне микрон, обеспечивая стабильную, высокоскоростную и безповреждённую передачу пластин в атмосферных и вакуумных средах.
- Отличная совместимость: соответствует требованиям ESD и строгим стандартам чистых помещений. Поддерживает SECS/GEM и Ethernet для лёгкого подключения к заводским хост-системам.
- Надёжная работа: протестированы в условиях круглосуточной эксплуатации. Надёжный и экономически эффективный выбор для обслуживания, замены и модернизации устаревших производственных линий полупроводников.
Типичные области применения:
- Автоматизация загрузки и выгрузки FOUP и предварительного выравнивания пластин
- Перемещение пластин для процессов травления, осаждения и литографии
- Поддержка тестирования пластин, инспекции и метрологических процессов
- Подходит для производственных линий, НИОКР и пилотных проектов чистых помещений
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и гарантия?
A:Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2:Каковы условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.