Описание:
Оптоволоконные спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрируемые в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном используются в сочетании с профессиональными оптическими модулями, они применяют конструкцию передачи по оптоволокну для захвата излучения плазмы, отражательных и пропускных спектров внутри технологических камер. Широко применяются для определения конечной точки травления, метрологии тонких пленок и мониторинга плазменных условий в реальном времени; эти устройства обеспечивают стабильность процесса, повышают выход продукции и снижают количество дефектов в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных процедурах. Являясь OEM-совместимыми компонентами, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полносерийных технологических установок LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения разнообразных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные оптоволоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять конечную точку травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая перетравливание и недотравливание.
- Встроенные порты Ethernet и RS-232 полностью совместимы с протоколами оборудования LAM для бесперебойного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с вибро- и помехозащитой. Поддерживает непрерывную работу 24/7 и простую замену на месте.
Типичные применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение конечной точки процессов травления пластин
- Измерение толщины тонких пленок и коэффициента отражения in-situ
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные технологические платформы
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, PayPal.
Q3: Каковы сроки доставки продукта? Достаточно ли товара на складе?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.