Описание:
Волоконно-оптические спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрированные для оборудования обработки полупроводниковых пластин. В основном используются совместно с профессиональными оптическими модулями; они применяют волоконно-оптическую схему передачи для регистрации плазменного излучения, а также спектров отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения конечной точки травления, метрологии тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени; эти устройства обеспечивают стабильность технологического процесса, повышают выход годной продукции и снижают количество дефектов при травлении, CVD, PVD и других вакуумных производственных процессах. Являясь оригинальными OEM-совместимыми компонентами, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полной линейки технологического оборудования LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения различных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные оптоволоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазменной среды.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять конечную точку травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая перетравливание и недотравливание.
- Встроенные порты связи Ethernet и RS-232, полностью совместимые с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает круглосуточную (24/7) непрерывную работу и простую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение конечной точки процессов травления пластин
- Измерение толщины тонких пленок и отражательной способности in-situ
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- Платформы технологических процессов LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные платформы
Часто задаваемые вопросы:
В1: Какое состояние продукта и какая гарантия?
О: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Каковы ваши условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.