Описание:
Волоконно-оптические спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрированные в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном используются совместно с профессиональными оптическими модулями, они применяют конструкцию передачи по оптическому волокну для регистрации спектров плазменной эмиссии, отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения конечной точки травления, метрологии тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени. Эти устройства обеспечивают стабильную производительность процесса, повышают выход продукции и снижают количество дефектных изделий в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных процедурах. Как оригинальные OEM-совместимые компоненты, они отличаются отличной совместимостью и долговременной надежностью для полносерийного оборудования LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивают выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения разнообразных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные волоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять конечную точку травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая пере- и недотравливание.
- Встроенные порты связи Ethernet и RS-232 полностью совместимы с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции системы.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает непрерывную работу 24/7 и простую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение конечной точки процессов травления пластин
- In-situ измерение толщины тонких пленок и отражательной способности
- Анализ состояния плазмы в реальном времени в вакуумных технологических камерах
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные процессные платформы
FAQ:
Q1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Каково время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер для отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса осуществляется нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные картонные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.