Описание:
Оптоволоконные спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрируемые в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном используются в сочетании с профессиональными оптическими модулями, они применяют оптоволоконную передачу для регистрации плазменного излучения, спектров отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения точки окончания травления, метрологии тонких пленок и мониторинга плазменных процессов в реальном времени. Эти устройства обеспечивают стабильность технологических процессов, повышают выход годной продукции и снижают количество дефектных изделий при травлении, CVD, PVD и других вакуумных производственных процессах. Являясь оригинальными OEM-совместимыми компонентами, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полной линейки оборудования LAM.
Основные характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения разнообразных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные оптоволоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять момент окончания травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая пере- и недотравливание.
- Встроенные порты Ethernet и RS-232, полностью совместимые с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает круглосуточную работу 24/7 и легкую замену на месте.
Типичные применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение точки окончания травления при обработке пластин
- In-situ измерение толщины тонких пленок и отражательной способности
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- Платформы процессов LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные платформы
FAQ:
Q1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный мониторинг процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные картонные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.