Описание:
Оптоволоконные спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрируемые в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В сочетании с профессиональными оптическими модулями они используют оптоволоконную схему передачи для регистрации плазменного излучения, а также спектров отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения точки окончания травления, метрологии тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени; эти устройства обеспечивают стабильность технологического процесса, повышают выход годной продукции и снижают количество дефектных изделий в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных операциях. Являясь оригинальными OEM-совместимыми компонентами, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полнофункциональных процессных инструментов LAM.
Основные характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими превосходное спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ- и видимый диапазон длин волн, отвечая различным требованиям мониторинга процессов в полупроводниковой промышленности.
- Стандартные SMA-волоконные интерфейсы поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять момент окончания травления, измерять толщину тонких пленок и их оптические свойства, эффективно предотвращая перетравливание и недотравливание.
- Встроенные порты Ethernet и RS-232 полностью совместимы с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает круглосуточную непрерывную работу и простую замену на месте.
Типичные применения:
- Плазменные системы травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение точки окончания травления в процессах обработки пластин
- in situ измерение толщины тонких пленок и коэффициента отражения
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- Платформы процессов LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные процессные платформы
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и какая гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T и Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
Доступны DHL/FedEx/UPS. После отправки предоставляются номер отслеживания и ссылка. Полный контроль процесса со стороны нашей команды.
Q5:Упаковка и безопасность
Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчива к влаге и ударам.