Описание:
LAM Research волоконно-оптические спектрометры — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрированные в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном используются с профессиональными оптическими модулями, они применяют волоконно-оптическую передачу для регистрации плазменного излучения, а также спектров отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения конечной точки травления, метрологии тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени; эти устройства обеспечивают стабильность технологического процесса, повышают выход продукции и снижают количество дефектных изделий при травлении, CVD, PVD и других вакуумных производственных процессах. Как оригинальные OEM-совместимые компоненты, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полноформатных технологических инструментов LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными CCD/PMT детекторами, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения разнообразных потребностей мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные волоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять конечную точку травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая перетравливание и недотравливание.
- Встроенные порты Ethernet и RS-232, полностью совместимые с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает круглосуточную работу 24/7 и легкую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение конечной точки процессов травления пластин
- Измерение толщины тонких пленок и отражательной способности in-situ
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные технологические платформы
FAQ:
В1: Какое состояние товара и какая гарантия?
О: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки товара? Есть ли достаточный запас на складе?
О: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.