Описание:
Волоконно-оптические спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрируемые в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном они работают в паре с профессиональными оптическими модулями и используют волоконно-оптическую передачу для захвата спектров плазменного излучения, отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения точки окончания травления, метрологии тонких пленок и мониторинга плазменных условий в реальном времени. Эти устройства обеспечивают стабильность процесса, повышают выход годной продукции и уменьшают количество дефектов в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных процедурах. Как OEM-совместимые компоненты оригинального качества, они обладают отличной совместимостью и долговременной надежностью для всей серии оборудования LAM.
Основные характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают ультрафиолетовый и видимый диапазон длин волн для удовлетворения разнообразных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные волоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Зонды, совместимые с вакуумом, стабильно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазменной среды.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять момент окончания травления, измерять толщину тонких пленок и их оптические свойства, эффективно предотвращая пере- и недотравливание.
- Встроенные порты Ethernet и RS-232 полностью совместимы с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции системы.
- Компактная и прочная конструкция с защитой от вибраций и помех. Поддерживает непрерывную работу 24/7 и легкую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение точки окончания процессов травления пластин
- In-situ измерение толщины тонких пленок и коэффициента отражения
- Анализ состояния плазмы в реальном времени в вакуумных технологических камерах
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные технологические платформы
Часто задаваемые вопросы:
Q1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T и Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели заказываются у производителя — для сроков свяжитесь с службой поддержки.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.