Описание:
LAM Research волоконно-оптические спектрометры — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрируемые в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном используются с профессиональными оптическими модулями, они применяют волоконно-оптическую схему передачи для регистрации плазменного излучения, отражательных и пропускательных спектров внутри технологических камер. Широко применяются для определения точки окончания травления, метрологии тонких пленок и мониторинга плазменных условий в реальном времени; эти устройства обеспечивают стабильность процесса, повышают выход годной продукции и снижают количество дефектов в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных процедурах. Как оригинальные OEM-совместимые компоненты, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полносерийных процессных инструментов LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения различных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные волоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазменной среды.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять точку окончания травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая пере- и недотравливание.
- Встроенные порты связи Ethernet и RS-232, полностью совместимые с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с вибро- и помехозащитой. Поддерживает круглосуточную работу 24/7 и простую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение точки окончания процессов травления пластин
- In-situ измерение толщины тонких пленок и отражательной способности
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные процессные платформы
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние товара и гарантия?
О: Новые оригинальные товары. Гарантия 1 год включена.
В2: Каковы условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Каковы сроки доставки товара? Достаточно ли товара на складе?
О: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.