Описание:
Оптоволоконные спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрированные в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном они используются совместно с профессиональными оптическими модулями и применяют оптоволоконную передачу для регистрации спектров плазменного излучения, отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения момента окончания травления (etch endpoint), метрологии тонких пленок и мониторинга плазмы в реальном времени. Эти устройства обеспечивают стабильность технологического процесса, повышают выход годной продукции и снижают количество дефектов при травлении, CVD, PVD и других вакуумных производственных процессах. Как оригинальные OEM-совместимые компоненты, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полнофункциональных процессных инструментов LAM.
Основные характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают диапазон длин волн UV-visible, чтобы удовлетворять разнообразные требования мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные волоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Зонды, совместимые с вакуумом, стабильно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять момент окончания травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая перетравливание и недотравливание.
- Встроенные порты связи Ethernet и RS-232 полностью совместимы с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает круглосуточную непрерывную работу и простую замену на месте.
Типичные применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для нанесения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение момента окончания травления пластин
- Измерение толщины тонких пленок и коэффициента отражения in-situ
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные процессные платформы
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы ваши условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A:Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — уточняйте сроки у службы поддержки.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер для отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.