Описание:
Электроды и изоляторные детали Lam Research являются критически важными расходными материалами и конструкционными компонентами для оборудования травления полупроводников, осаждения и плазменной обработки. Электроды генерируют и поддерживают стабильную плазму для производства полупроводниковых пластин (wafer), в то время как высокоэффективные изоляторы изолируют цепи и компоненты, предотвращая утечки тока, дуговые разряды и короткие замыкания. Изготовленные из специализированных материалов полупроводникового класса, эти детали обладают отличным электрическим сопротивлением, термической стабильностью и стойкостью к плазменной эрозии. Они надежно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильного радиочастотного (RF) воздействия, обеспечивая долгосрочную стабильную работу технологических камер и стабильный выход продукции. Все изделия являются оригинальными OEM-деталями с полной совместимостью с оборудованием Lam Research для обработки пластин.
Основные характеристики:
- Используются высокочистые проводящие материалы для электродов и высококачественная керамика/кварц для изоляторов, обеспечивающие выдающуюся стойкость к плазменной коррозии.
- Электроды обеспечивают равномерное распределение плазмы; изоляторы обеспечивают превосходную изоляционную прочность, предотвращая разрядные сбои и повреждение оборудования.
- Устойчивы к высоким температурам, термическому шоку и механическим нагрузкам, сохраняя точные размеры и характеристики при круглосуточной непрерывной работе.
- Изготавливаются с жесткими допусками, идеально соответствуя конструкции оригинального оборудования для бесшовной установки и стабильных результатов процесса.
- Полностью совместимы с травильными установками Lam, CVD, PVD и соответствующими вакуумными системами. Легко заменяются для минимизации простоев производства.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления Lam Research
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Процессные камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы ваши условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Каково время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер для отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.