Описание:
Электроды Lam Research и детали изоляторов являются критически важными расходными и конструкционными компонентами оборудования для травления полупроводников, осаждения и плазменной обработки. Электроды создают и поддерживают стабильную плазму для производства пластин, в то время как высокоэффективные изоляторы изолируют цепи и компоненты, предотвращая утечки тока, дуговые разряды и короткие замыкания. Изготовленные из специализированных материалов полупроводникового класса, эти детали обладают отличным электрическим сопротивлением, термической стабильностью и устойчивостью к эрозии плазмой. Они надежно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильного ВЧ (RF) воздействия, обеспечивая долгосрочную стабильную работу технологических камер и стабильный производственный выход. Все позиции являются оригинальными OEM-деталями с полной совместимостью с оборудованием для обработки пластин Lam Research.
Ключевые характеристики:
- Используются высокочистые проводящие материалы для электродов и высококачественная керамика/кварц для изоляторов, обеспечивающие выдающуюся устойчивость к коррозии плазмой.
- Электроды обеспечивают равномерное распределение плазмы; изоляторы обеспечивают превосходную изоляционную прочность, предотвращая разрядные неисправности и повреждение оборудования.
- Устойчивы к высокой температуре, термическому шоку и механическим нагрузкам, сохраняя точные размеры и характеристики при круглосуточной (24/7) непрерывной работе.
- Изготавливаются с жесткими допусками, идеально соответствуя конструкции оригинального оборудования для бесшовной установки и стабильных технологических результатов.
- Полностью совместимы с травильными установками Lam, системами CVD, PVD и связанными вакуумными системами. Легко заменяются, что минимизирует простои производства.
Типичные области применения:
- Плазменные травильные системы Lam Research
- Оборудование для тонкопленочного осаждения CVD, PVD и ALD
- Технологические камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
Часто задаваемые вопросы:
В1: Какое состояние продукта и гарантия?
О: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели есть в наличии, отгрузка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса осуществляется нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.