Описание:
Электроды и изоляторные детали Lam Research являются критически важными расходными и конструкционными компонентами для оборудования травления, осаждения и плазменной обработки в полупроводниковом производстве. Электроды создают и поддерживают стабильную плазму для производства пластин (wafer), в то время как высокопроизводительные изоляторы изолируют цепи и компоненты, предотвращая утечки тока, дуговые разряды и короткие замыкания. Изготовленные из специализированных материалов полупроводникового класса, эти детали обладают отличным электрическим сопротивлением, термической стабильностью и стойкостью к плазменной эрозии. Они надежно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильного радиочастотного (RF) воздействия, обеспечивая долгосрочную стабильную работу технологических камер и стабильный выход продукции. Все изделия являются оригинальными OEM-деталями с полной совместимостью с оборудованием обработки пластин Lam Research.
Ключевые характеристики:
- Используются высокочистые проводящие материалы для электродов и высококачественная керамика/кварц для изоляторов, обеспечивающие выдающуюся стойкость к плазменной коррозии.
- Электроды обеспечивают равномерное распределение плазмы; изоляторы обеспечивают высокую изоляционную прочность, предотвращая пробои и повреждения оборудования.
- Устойчивы к высоким температурам, термическому шоку и механическим нагрузкам, сохраняя точные размеры и характеристики при круглосуточной непрерывной работе.
- Изготовлены с жесткими допусками, полностью соответствующими конструкции оригинального оборудования, обеспечивая бесшовную установку и стабильные результаты процесса.
- Полностью совместимы с травителями Lam, оборудованием CVD, PVD и связанными вакуумными системами. Легко заменяются для минимизации простоев производства.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления Lam Research
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Процессные камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
Часто задаваемые вопросы:
В1:Какое состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
В2: Каковы условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Каково время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.