Описание:
Электростатический зажим Lam Research Electrostatic Chuck (ESC) является ключевым компонентом оборудования для вакуумных процессов в производстве полупроводников. Он использует электростатическую силу для надежной фиксации пластин (wafers) внутри процессных камер, обеспечивая стабильное позиционирование во время травления, осаждения и других производственных этапов. Разработанный из высококачественных материалов и с точной структурой, он обеспечивает равномерное усилие зажима, отличную теплопроводность и выдающуюся долговечность. Он надежно работает в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазменной среды, помогая поддерживать стабильные параметры процесса и высокий выход продукции. Оригинальный OEM-узел гарантирует идеальную совместимость с оборудованием Lam Research для обработки пластин.
Ключевые характеристики:
- Обеспечивает равномерную и стабильную электростатическую удерживающую силу для надежной фиксации пластин, предотвращая их смещение во время работы.
- Оптимизированная конструкция теплопроводности обеспечивает эффективный контроль температуры пластины для равномерных результатов процесса.
- Приспособлен к условиям высокого вакуума, широкому диапазону температур и плазменной атмосфере, подходит для длительной круглосуточной непрерывной эксплуатации 24/7.
- Строгие производственные допуски гарантируют отличную плоскостность поверхности, соответствующую требованиям передовых полупроводниковых процессов.
- Полностью совместим с травильными установками и системами осаждения Lam Research, легко устанавливается и заменяется, сокращая время простоя.
Типичные области применения:
- Плазменные травильные системы Lam Research
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Вакуумные процессные камеры для пластин 200mm / 300mm
- Линии производства полупроводников и обслуживание оборудования
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и какая гарантия?
A: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.