Описание:
Электростатический зажим (ESC) Lam Research — это ключевой компонент оборудования для вакуумных процессов в полупроводниковой промышленности. Он использует электростатическую силу для надежного закрепления пластин внутри технологических камер, обеспечивая стабильное позиционирование во время травления, осаждения и других производственных этапов. Изготовленный из высококачественных материалов и с точной конструкцией, он обеспечивает равномерное усилие зажима, отличную теплопроводность и выдающуюся долговечность. Он надежно работает в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменной среды, помогая поддерживать стабильность технологического процесса и высокий выход продукции. Оригинальный OEM-узел гарантирует идеальную совместимость с оборудованием Lam Research для обработки пластин.
Основные характеристики:
- Обеспечивает равномерное и стабильное электростатическое удерживающее усилие для надежной фиксации пластин, предотвращая смещение во время работы.
- Оптимизированная конструкция теплопередачи обеспечивает эффективный контроль температуры пластины для получения равномерных результатов процесса.
- Адаптирован к высокому вакууму, широкому диапазону температур и плазменной среде, подходит для длительной круглосуточной непрерывной работы.
- Строгие производственные допуски гарантируют отличную плоскостность поверхности, соответствующую требованиям передовых полупроводниковых процессов.
- Полная совместимость с травильными и осадительными системами Lam Research, простота установки и замены для сокращения времени простоя.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления Lam Research
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Вакуумные технологические камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Линии производства полупроводников и обслуживание оборудования
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2:Каковы ваши условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.