Описание:
Электростатический зажим (ESC) Lam Research — ключевой компонент оборудования для вакуумных процессов в полупроводниковой промышленности. Он использует электростатическую силу для надежного закрепления пластин (wafer) внутри технологических камер, обеспечивая стабильное позиционирование во время травления, осаждения и других производственных этапов. Изготовленный из высококачественных материалов и с высокой точностью конструкции, он обеспечивает равномерное усилие зажима, отличную теплопроводность и выдающуюся долговечность. Устройство надежно работает в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазменной среды, помогая поддерживать стабильную производительность процесса и высокий выход годной продукции. Оригинальное OEM-изделие гарантирует идеальную совместимость с оборудованием для обработки пластин Lam Research.
Ключевые характеристики:
- Обеспечивает равномерное и стабильное электростатическое удерживающее усилие для надежной фиксации пластин, предотвращая смещение во время работы.
- Оптимизированная конструкция теплопередачи обеспечивает эффективный контроль температуры пластины для получения равномерных результатов процесса.
- Адаптирован к высокому вакууму, широкому диапазону температур и плазменной среде, подходит для длительной круглосуточной непрерывной работы.
- Строгие производственные допуски гарантируют отличную плоскостность поверхности, соответствующую требованиям передовых полупроводниковых процессов.
- Полностью совместим с травильными системами и системами осаждения Lam Research, легко устанавливается и заменяется, сокращая время простоя.
Типичные области применения:
- Плазменные травильные системы Lam Research
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Вакуумные технологические камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Производственные линии полупроводников и обслуживание оборудования
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
О: Абсолютно новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, PayPal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели заказываются у производителя — для уточнения сроков обратитесь в службу поддержки.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса со стороны нашей команды.
Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.