Описание:
Плата контроля температуры Lam Research является ключевым компонентом управления теплом для систем травления полупроводников, осаждения и обработки пластин. Она обеспечивает высокоточное многоканальное регулирование температуры для поддержания строгой тепловой однородности в технологических камерах, электростатических патронах (ESC) и столах обработки пластин. Разработана для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменной среды, обеспечивает стабильную температуру пластины, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход продукции. Оригинальные OEM-платы Lam гарантируют совместимость plug-and-play, точную калибровку и долгосрочную надежность для полупроводниковых фабрик передовых узлов (2nm/3nm).
Ключевые характеристики:
- Оригинальная сборка печатной платы Lam Research, полностью совместимая с травителями Kiyo, платформами ExAL и системами CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддерживает 16–24 каналов (входы Pt100 RTD/термопара); обеспечивает стабильность ±0.1°C в диапазоне 25–150°C благодаря алгоритмам PID с автонастройкой.
- Замкнутый контур управления нагревом/охлаждением (совместимо с TEC); обратная связь с датчиков в реальном времени с частотой 500Hz; компенсация дрейфа окружающей среды и задержки датчиков.
- Рассчитана на вакуум (≤1×10⁻⁶ Torr), с экранированием от EMI, устойчива к вибрациям; надежно работает при 0–55°C с устойчивостью к плазменным и RF помехам.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой замены; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и журналирования ошибок; снижает незапланированные простои.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления Lam Research (Kiyo, ExAL, 9000 series)
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD/PVD/ALD
- Технологические камеры и ESC для пластин 200mm / 300mm
- Передовые логические/памяти фабрики (узлы 2nm/3nm)
- Обслуживание полупроводниковых фабрик, запчасти и модернизация
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и какая гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Каковы условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3:Какое время доставки продукта? Достаточен ли запас на складе?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.