Описание:
Плата контроля температуры Lam Research является ключевым компонентом терморегулирования для систем травления, осаждения и обработки пластин в производстве полупроводников. Она обеспечивает высокоточную многоканальную регулировку температуры для поддержания строгой термической однородности во всех технологических камерах, электростатических патронах (ESC) и столах обработки пластин. Разработана для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменных сред, обеспечивает стабильную температуру пластин, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход продукции. Оригинальные платы Lam OEM гарантируют совместимость plug-and-play, точную калибровку и долгосрочную надежность для передовых узлов (2 нм/3 нм) полупроводниковых фабрик.
Ключевые характеристики:
- Оригинальная печатная плата Lam Research, полностью совместимая с травильными системами Kiyo, платформами ExAL и системами CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддерживает 16–24 каналов (входы Pt100 RTD/термопары); обеспечивает стабильность ±0.1°C в диапазоне 25–150°C благодаря PID-алгоритмам с автонастройкой.
- Замкнутое управление нагревом/охлаждением (совместимо с TEC); обратная связь с датчиков в реальном времени с частотой дискретизации 500 Гц; компенсация дрейфа окружающей среды и задержек датчиков.
- Рассчитана на вакуум (≤1×10⁻⁶ Торр), экранирована от EMI, устойчива к вибрациям; надежно работает при 0–55°C с устойчивостью к плазме и RF-помехам.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой замены; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и журналирования ошибок; снижает незапланированные простои.
Типичные области применения:
- Плазменные системы травления Lam Research (Kiyo, ExAL, серия 9000)
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD/PVD/ALD
- Технологические камеры и ESC для пластин 200 мм / 300 мм
- Передовые логические/памятевые фабрики (узлы 2 нм/3 нм)
- Обслуживание фабрик полупроводников, запасные части и модернизация
Часто задаваемые вопросы:
В1:Какое состояние продукта и гарантия?
О: Совершенно новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, PayPal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О:DHL/FedEx/UPS доступны.Tracking номер + ссылка предоставляются после отгрузки. Полный процесс мониторинга нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.