Описание:
Плата контроля температуры Lam Research — это ключевой компонент теплового управления в системах травления, осаждения и обработки кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности. Она обеспечивает высокоточное многоканальное регулирование температуры для поддержания строгой тепловой однородности в технологических камерах, электростатических патронах (ESC) и на столах обработки пластин. Разработанная для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменной среды, она обеспечивает стабильную температуру пластин, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход продукции. Оригинальные платы Lam OEM гарантируют совместимость «plug-and-play», точную калибровку и долгосрочную надежность для передовых полупроводниковых фабрик (2nm/3nm).
Ключевые характеристики:
- Оригинальная печатная плата Lam Research, полностью совместимая с травителями Kiyo, платформами ExAL и системами CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддерживает 16–24 канала (входы Pt100 RTD/термопар); обеспечивает стабильность ±0.1°C в диапазоне 25–150°C благодаря PID-алгоритмам автонастройки.
- Замкнутое управление нагревом/охлаждением (совместимо с TEC); обратная связь от датчиков в реальном времени с частотой 500 Гц; компенсация дрейфа окружающей среды и задержки датчиков.
- Рассчитана на работу в вакууме (≤1×10⁻⁶ Торр), экранирована от EMI, устойчива к вибрациям; надежно работает при 0–55°C с устойчивостью к плазменным и RF-помехам.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой замены; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и журналирования ошибок; снижает незапланированные простои.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления Lam Research (Kiyo, ExAL, серия 9000)
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD/PVD/ALD
- Камеры обработки пластин 200mm / 300mm и ESC
- Передовые логические/памятные фабрики (узлы 2nm/3nm)
- Обслуживание полупроводниковых фабрик, запасные части и модернизация
Часто задаваемые вопросы:
В1: Какое состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.