Описание:
Плата контроля температуры Lam Research — это ключевой компонент термоуправления в системах травления полупроводников, осаждения и обработки кремниевых пластин. Она обеспечивает высокоточную многоканальную регулировку температуры для поддержания строгой тепловой однородности в технологических камерах, электростатических зажимах (ESC) и на столах обработки пластин. Спроектирована для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменной среды, она обеспечивает стабильную температуру пластин, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход продукции. Оригинальные платы Lam OEM гарантируют совместимость «plug-and-play», точную калибровку и долгосрочную надежность для полупроводниковых фабрик передовых технологических узлов (2nm/3nm).
Ключевые характеристики:
- Оригинальная сборка печатной платы Lam Research, полностью совместимая с травителями Kiyo, платформами ExAL и системами CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддержка 16–24 каналов (входы Pt100 RTD/термопар); достижение стабильности ±0.1°C в диапазоне 25–150°C благодаря алгоритмам автонастройки PID.
- Замкнутое управление нагревом/охлаждением (совместимо с TEC); обратная связь от датчиков в реальном времени с частотой 500 Гц; компенсация дрейфа окружающей среды и задержек датчиков.
- Рассчитана на вакуум (≤1×10⁻⁶ Торр), экранирование от EMI, устойчивость к вибрациям; надежная работа при 0–55°C с устойчивостью к плазме и радиочастотным помехам.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой установки; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и журналирования ошибок; снижение незапланированных простоев.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления Lam Research (Kiyo, ExAL, серия 9000)
- Оборудование для нанесения тонких пленок CVD/PVD/ALD
- Камеры обработки пластин 200mm / 300mm и ESCs
- Фабрики полупроводниковой логики/памяти передовых узлов (2nm/3nm)
- Обслуживание полупроводниковых фабрик, запасные части и модернизация
Часто задаваемые вопросы:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2:What is your payment terms?
A:Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки товара? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели есть на складе, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — обратитесь в службу поддержки для уточнения сроков.
Q4:Shipping & Tracking
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса доставки нашей командой.
Q5:Packaging & Safety
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.