Описание:
Плата контроля температуры Lam Research — это ключевой компонент управления тепловыми процессами в системах травления, осаждения и обработки кремниевых пластин в полупроводниковом производстве. Она обеспечивает высокоточное многоканальное регулирование температуры для поддержания строгой тепловой однородности в технологических камерах, электростатических зажимах (ESC) и столах обработки пластин. Разработана для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменных сред, она обеспечивает стабильную температуру пластин, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход продукции. Оригинальные платы Lam OEM гарантируют совместимость «plug-and-play», точную калибровку и долгосрочную надежность для полупроводниковых фабрик передовых техпроцессов (2 нм/3 нм).
Ключевые характеристики:
- Оригинальная печатная плата Lam Research, полностью совместимая с травителями Kiyo, платформами ExAL и системами CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддерживает 16–24 канала (входы Pt100 RTD/термопары); обеспечивает стабильность ±0.1°C в диапазоне 25–150°C благодаря автонастраиваемым ПИД-алгоритмам.
- Замкнутый контур управления нагревом/охлаждением (совместимость с TEC); обратная связь от датчиков в реальном времени с частотой опроса 500 Гц; компенсация дрейфа окружающей среды и задержки датчиков.
- Рассчитана на вакуум (≤1×10⁻⁶ Торр), экранирована от ЭМИ, устойчива к вибрациям; надежно работает при 0–55°C с устойчивостью к плазменным и радиочастотным помехам.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой замены; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и журналирования ошибок; снижает незапланированные простои.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления Lam Research (Kiyo, ExAL, серия 9000)
- Оборудование для тонкопленочного осаждения CVD/PVD/ALD
- Камеры обработки пластин 200 мм / 300 мм и ESC
- Передовые логические и запоминающие фабрики (техпроцессы 2 нм/3 нм)
- Обслуживание полупроводниковых фабрик, запасные части и модернизация
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Что представляет собой продукт и какая гарантия предоставляется?
A:Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3:Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели заказываются у производителя — обратитесь в службу поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер для отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса со стороны нашей команды.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.