Описание:
Плата контроля температуры Lam Research является ключевым компонентом теплового управления для систем травления, осаждения и обработки кремниевых пластин (wafer). Она обеспечивает высокоточное многоканальное регулирование температуры для поддержания строгой термической однородности в технологических камерах, электростатических патронах (ESC) и столах обработки пластин. Спроектирована для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменных сред, она обеспечивает стабильную температуру пластин, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход продукции. Оригинальные OEM-платы Lam гарантируют совместимость plug-and-play, точную калибровку и долгосрочную надежность для передовых полупроводниковых фабрик (2 нм/3 нм).
Ключевые характеристики:
- Оригинальная сборка печатной платы Lam Research, полностью совместимая с травильными установками Kiyo, платформами ExAL и системами CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддерживает 16–24 канала (входы Pt100 RTD/термопары); обеспечивает стабильность ±0,1°C в диапазоне 25–150°C благодаря алгоритмам PID с автонастройкой.
- Замкнутый контур управления нагревом/охлаждением (совместимо с TEC); обратная связь с датчиков в реальном времени с частотой 500 Гц; компенсация дрейфа окружающей среды и задержек датчиков.
- Рассчитано на вакуум (≤1×10⁻⁶ Торр), экранирование от EMI, устойчивость к вибрациям; надежная работа при 0–55°C с устойчивостью к плазме и РЧ-помехам.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой замены; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и регистрации ошибок; снижает незапланированные простои.
Типичные области применения:
- Плазменные системы травления Lam Research (Kiyo, ExAL, серия 9000)
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD/PVD/ALD
- Технологические камеры для пластин 200 мм / 300 мм и ESC
- Передовые фабрики логики/памяти (ноды 2 нм/3 нм)
- Обслуживание полупроводниковых фабрик, запчасти и модернизация
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и какова гарантия?
A:Совершенно новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Каковы сроки доставки продукта? Достаточно ли запасов на складе?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.