Описание:
Плата контроля температуры Lam Research — это ключевой компонент системы терморегулирования для оборудования травления полупроводников, осаждения и обработки кремниевых пластин. Она обеспечивает высокоточную многоканальную регулировку температуры для поддержания строгой термической однородности в технологических камерах, электростатических патронах (ESC) и столах обработки пластин. Спроектирована для круглосуточной работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменной среды, она обеспечивает стабильную температуру пластин, стабилизирует технологические рецепты и максимизирует выход продукции. Оригинальные платы Lam OEM гарантируют совместимость plug-and-play, точную калибровку и долгосрочную надежность для передовых полупроводниковых фабрик (2nm/3nm).
Ключевые характеристики:
- Оригинальная сборка печатной платы Lam Research, полностью совместимая с травильными системами Kiyo, платформами ExAL и оборудованием CVD/PVD. Заводская калибровка и тестирование для бесшовной интеграции.
- Поддержка 16–24 каналов (входы Pt100 RTD/термопары); достижение стабильности ±0.1°C в диапазоне 25–150°C благодаря алгоритмам автонастройки PID.
- Замкнутый контур управления нагревом/охлаждением (совместимость с TEC); обратная связь с датчиков в реальном времени с частотой 500 Гц; компенсация дрейфа окружающей среды и задержки датчиков.
- Рассчитана на вакуумные условия (≤1×10⁻⁶ Torr), экранирование от EMI, устойчивость к вибрациям; надежная работа при 0–55°C с защитой от плазменных и RF-помех.
- Модульная конструкция с возможностью горячей замены для быстрой замены; встроенная диагностика температуры, состояния датчиков и журналирования ошибок; снижение незапланированных простоев.
Типичные применения:
- Системы плазменного травления Lam Research (Kiyo, ExAL, серия 9000)
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD/PVD/ALD
- Камеры обработки 200 мм / 300 мм пластин и ESC
- Передовые логические/памятные фабрики (узлы 2nm/3nm)
- Обслуживание полупроводниковых фабрик, запасные части и модернизация
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и гарантия?
A:Совершенно новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2:Каковы условия оплаты?
A:T/T, поддерживается Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный мониторинг процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.