Описание:
Это оригинальная плата блока питания OEM для электростатического патрона (Electrostatic Chuck, ESC) LAM Research, критически важного компонента для систем травления и осаждения полупроводников. Она обеспечивает стабильное высокое постоянное напряжение для надежного удержания пластин (wafers) за счет электростатической силы внутри вакуумных камер. Изготовлена из высококачественных электронных компонентов и с конструкцией схемы подавления помех, она обеспечивает выдающиеся характеристики в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильных радиочастотных (RF) помех, гарантируя стабильное позиционирование пластин и устойчивый выход годной продукции при круглосуточной работе 24/7. Это надежная запасная часть для обслуживания оборудования полупроводниковых фабрик.
Ключевые характеристики:
- Полностью совместима с оборудованием для травления, CVD и PVD LAM Research. Строго протестирована и откалибрована на заводе для идеального соответствия.
- Обеспечивает сверхнизкие пульсации и стабильный выход тока. Система замкнутого контура компенсирует RF-помехи для поддержания постоянной силы прижима.
- Оснащена защитой от перенапряжения, перегрузки по току, перегрева и обнаружения дугового разряда. Мгновенно отключает питание для защиты пластин и оборудования.
- Оптимизирована для суровых условий чистых комнат и вакуумных сред, устойчива к вибрациям, нагреву и электромагнитным помехам для длительного срока службы.
- Стандартная конструкция и специализированный интерфейс позволяют прямую замену, значительно сокращая время простоя оборудования и затраты на обслуживание.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления LAM Research
- Оборудование для нанесения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Вакуумные камеры обработки 200 мм / 300 мм пластин
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
Часто задаваемые вопросы:
В1: Какое состояние продукта и какая гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Каковы сроки доставки товара? Достаточно ли его на складе?
О: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный мониторинг процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.