Описание:
Это оригинальная OEM-плата блока питания для LAM Research Electrostatic Chuck (ESC), критически важного компонента для травильных установок и систем осаждения в производстве полупроводников. Она обеспечивает стабильное высокое постоянное напряжение для надежного удержания кремниевых пластин за счет электростатической силы внутри вакуумных камер. Изготовленная с использованием высококачественных электронных компонентов и схемы с защитой от помех, она обеспечивает выдающиеся характеристики в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильных радиочастотных помех, гарантируя стабильное позиционирование пластин и устойчивый выход продукции при круглосуточной непрерывной работе. Это надежная запасная часть для обслуживания оборудования полупроводниковых фабрик.
Ключевые характеристики:
- Полностью совместима с оборудованием LAM Research для травления, CVD и PVD. Строго протестирована и откалибрована на заводе для идеального соответствия.
- Обеспечивает сверхнизкие пульсации и стабильный выход тока. Система замкнутого управления компенсирует радиочастотные помехи для поддержания постоянной силы прижима.
- Оснащена защитой от перенапряжения, перегрузки по току, перегрева и обнаружения дуги. Мгновенно отключает питание для защиты пластин и оборудования.
- Оптимизирована для жестких условий чистых комнат и вакуумных сред, устойчива к вибрациям, теплу и электромагнитным помехам для длительного срока службы.
- Стандартная конструкция и специализированный интерфейс позволяют прямую замену, значительно сокращая время простоя оборудования и затраты на обслуживание.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления LAM Research
- Оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Вакуумные технологические камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
Часто задаваемые вопросы:
В1:Каково состояние продукта и гарантия?
О:Абсолютно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
В2:Какие у вас условия оплаты?
О:Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
О:Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4:Доставка и отслеживание
О:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5:Упаковка и безопасность
О:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.