Описание:
Это оригинальная OEM плата источника питания для LAM Research Electrostatic Chuck (ESC), критически важный компонент для травильных установок и систем осаждения полупроводников. Она обеспечивает стабильное высокое постоянное напряжение для надежной фиксации пластин (wafers) посредством электростатической силы внутри вакуумных камер. Изготовленная из высококачественных электронных компонентов и с конструкцией схемы с подавлением помех, она обеспечивает выдающиеся характеристики в условиях высокого вакуума, высокой температуры и сильных радиочастотных помех, гарантируя стабильное позиционирование пластин и устойчивый выход годной продукции при непрерывной работе 24/7. Это надежная запасная часть для обслуживания оборудования полупроводниковых фабрик.
Ключевые характеристики:
- Полностью совместима с оборудованием LAM Research для травления, CVD и PVD. Строго протестирована и откалибрована на заводе для идеального соответствия.
- Обладает сверхнизкими пульсациями и стабильным выходом тока. Замкнутый контур управления компенсирует радиочастотные помехи, поддерживая постоянное усилие прижима.
- Оснащена защитой от перенапряжения, перегрузки по току, перегрева и обнаружения дугового разряда. Она мгновенно отключает питание для защиты пластин и оборудования.
- Оптимизирована для суровых условий чистых помещений и вакуума, устойчива к вибрациям, теплу и электромагнитным помехам, обеспечивая длительный срок службы.
- Стандартная конструкция и специализированный интерфейс позволяют прямую замену, значительно сокращая время простоя оборудования и затраты на обслуживание.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления LAM Research
- Инструменты для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Вакуумные процессные камеры для пластин 200 мм / 300 мм
- Обслуживание производственных линий полупроводников и замена запасных частей
Часто задаваемые вопросы:
Q1: Что представляет собой продукт и какая гарантия?
A: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, PayPal.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
Обычные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.