Описание:
Волоконно-оптические спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрированные в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном используются с профессиональными оптическими модулями, они применяют волоконно-оптическую схему передачи для регистрации эмиссии плазмы, а также спектров отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения точки окончания травления (etch endpoint detection), метрологии тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени. Эти устройства обеспечивают стабильность технологического процесса, повышают выход продукции и снижают количество дефектных изделий в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных процедурах. Как оригинальные OEM-совместимые компоненты, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полносерийных процессных установок LAM.
Основные характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают диапазон длин волн UV-visible для удовлетворения различных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные оптоволоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять окончание травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая перетравливание и недотравливание.
- Встроенные интерфейсы связи Ethernet и RS-232, полностью совместимые с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции системы.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает круглосуточную работу 24/7 и легкую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение точки окончания процесса травления пластин
- In-situ измерение толщины тонких пленок и коэффициента отражения
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные процессные платформы
Часто задаваемые вопросы:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal supported.
Q3: Что такое сроки доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер для отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса со стороны нашей команды.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.